LanaBrava

  • 24 мая 2012 г.
  • 952 Слова
Электронный журнал ИССЛЕДОВАНО В РОССИИ

1800 http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2005/173.pdf

Структурно-параметрический метод исследования
микроэлектронных емкостных датчиков давленияШикульский М.И. (shikul_m@mail.ru )
ФГОУ ВПО «Астраханский государственный технический университет»
Автоматизация

проектирования

микроэлектронных

преобразователей

должна

существенно снизить ихсебестоимость. Для разработки автоматизированной системы
проектирования микроэлектронных датчиков необходимо формализовать описание
процессов преобразования физических величин в этих приборах.
Длярешения этой задачи используется теория энергоинформационных моделей цепей
(ЭИМЦ) и аппарат параметрических структурных схем (ПСС). Теория ЭИМЦ не только
позволяет рассматривать явления различнойфизической природы с помощью уравнений,
инвариантных к самой физической природе, но и дает возможность переложить мощный
аппарат анализа и синтеза электрических цепей на исследование явлений другойфизической природы [1].
Принцип действия микроэлектронных датчиков давления основан на преобразовании
возникающей

под

воздействием

давления

деформации

плоской

мембраны

вэлектрический сигнал. По способу такого преобразования можно выделить три базовых
конструкции микроэлектронных датчиков: емкостные, вибрационные и тензорезисторные.
В предлагаемой работе рассмотрено исследованиемикроэлектронных емкостных
датчиков давления.
Емкостный микроэлектронный датчик давления выполнен монолитно из кристалла
полупроводника (рис. 1).
Он

состоит

из

мембраны

неподвижной

ипластины,

взаимодействующих

через

Мембрана

и

являются

электродами

пружину.

неподвижная

пластина
емкостного

датчика. Под воздействием давления
мембрана
Рис. 1 Схема емкостногомикроэлектронного датчика давления

этого

прогибается.

изменяется

пластинами
электрическая

и

В

результате

расстояние

между

соответственно...
tracking img