Малышева А.И.

  • 27 янв. 2011 г.
  • 66967 Слова
И. А. Малышева

ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
2-е издание, дополненное

переработанное

и

Допущено Министерством электронной промышленности в качестве учебника для средних специальных учебных заведений по специальности 2002 «Производство изделий электронной техники»

©

Москва «Радио и связь»
1991

Б Б К 32.844.1

М 20

У Д К 621.3.049.77(075)

Р е ц е н зе н т ы : JI. И. Константинова, Ю. А. Концевой

Редакция литературы по электронике

М 20

М а л ы ш е в а И. А. Технология производства интегральных микросхем: Учебник для техникумов. — 2-е изд., перераб. и д о п . — М.: Р а д и о и связь, 1991. — 344 е.: ил.
I S B N 5-256-00861-7. Описаны основные технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников идиэлектриков, очистки пластин и подложек, обеспечения топологии микросхем, получения пленок, формирования полупроводниковых слоев и переходов, сборки и герметизации, а т а к ж е типовые технологические маршруты изготовления микросхем различного конструктивно-технологического исполнения. Содержание книги, в отличие от первого издания (1980 г.), приведено в соответствие современному уровню науки ипроизводства. Д л я учащихся средних специальных учебных заведений по специальности «Производство изделий электронной техники».

М

2302030700-095 046(01)-91

82-91

„„„,.,, Б Б К 32.844.1

Учебное издание Малышева Идея Александровна
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

Учебник
З а в е д у ю щ и й р е д а к ц и е й Ю. Н. Рысев Р е д а к т о р Н. И. Кузнецова Х у д о ж е с т в е н н ы йр е д а к т о р Я. С. Шеин Технический р е д а к т о р Т. Г. Родина Корректор Н. В. Козлова

ИБ № 1900
С д а н о в н а б о р 10.01.90 Формат 60X907,6 Печать высокая Уч.-изд. л. 25.70 Зак. № 14 Б у м а г а типогр. № 1 Усл. печ. л. 21.50 Т и р а ж 20 000 экз. Ц е л а 2 р. 50 к. П о д п и с а н о в печать 28.05.91 Гарнитура литературная Усл. кр.-отт 21.50 И з д . № 22524

И з д а т е л ь с т во « Р а д и о и с в я з ь » . 101000 Москва, Почтамт, а/я 693 Типография издательства «Радио и связь». 101000 Москва, ул. Кирова, д. 40

ISBN 5-256-00861-7

© Малышева И. А,, 1991

ПРЕДИСЛОВИЕ В а ж н ы е з а д а ч и сегодняшнего дня выдвигают новые т р е б о в а н и я к уровню подготовки современных специалистов. Особенно в а ж ми что д л я отраслей промышленности, определяющихнаучно-технический и социальный прогресс. К т а к и м о т р а с л я м относится • п і.тропика, и п р е ж д е всего ее ведущее н а п р а в л е н и е — микро' и і тропика. I Мделия микроэлектроники: интегральные микросхемы р а з л и ч ии- п е н с и е й интеграции, микросборки, микропроцессоры, миниН мін.і>і> Э В М — позволили осуществить проектирование и про• і ієн нос производство функционально сложной радио- и вы«II а пп а р а т у р ы , о т л и ч а ю щ е й с я от а п п а р а т у р ы предыдуIIIих .менті лучшими э к с п л у а т а ц и о н н ы м и п а р а м е т р а м и , более И* ні надежностью и сроком с л у ж б ы , меньшими потребляемом цієї її стоимостью. А п п а р а т у р а на б а з е изделий микро01 и')« пи находит широкое применение во всех о т р а с л я х на|мі m \п г,iii> піл и но всех сферах деятельностичеловека. СозДиніиіііін м-м m і ом.п ического проектирования, п р о м ы ш л е н н ы х роПиііін .m і им.11 и мі і м 11 і л 1 1 1 .і \ її автоматических производственных 11 УМІННІ), і ре и in і ни ni, мм мпчееким исследованиям, проникновению і иудіїиі. и и IN ip K ' M J I I I , достижениям в д и а г н о с т и к е и IM И И м ні H 1 н inn.! u n . гі «пер 11 іеііс і HOB.i и и к) просвещения, \ і'ііін іііііиГц, і щи-и i.ii\ . ї л и і її многому д р у г о м у
III ІіЛі I MS і I M II к pu і le h I p u l l II KU,

шин 11111 « • і j і. і .і і. 1 1 .і \ микросхем, р а з в и в а я с ь исключитель1 • Ч'ыип и милми. ц о е ш г л а значительных успехов. В настоя'I ц|" мя оім игрлег подрастающую и о п р е д е л я ю щ у ю р о л ь в со||цц її' інопліши практически всех отраслей...
tracking img