Микро-электромеханическая система (мемс)

МИНИСТЕРСТВО ОБЩЕГО И ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИКИ И
ОПТИКИ



|Кафедра |Систем Управления и Информатики |Группа |3147 |






Реферат
Микро-электромеханическая система (МЕМС)
||
| |

| Автор реферата |.|(подпись) |
|(фамилия, и.о.) |
|Руководитель | |(подпись) |
|(фамилия, и.о.)|
| |








|“ | |“ | |20 | |г. Санкт-Петербург, 20 | |г. |





| Реферат выполнен с оценкой| |
| |
|Дата защиты “ | |“ | |20 | |г. |



| || |
|Содержание: |
||
|1 Принцип действия и области применения |
|3|
| |
|1.1 Базовые понятия |
|3|
| |
|1.2 Датчики и микроактюаторы|
|5 |
| |
|1.3 Самый маленький датчик...