Перевод

  • 09 апр. 2012 г.
  • 988 Слова
Влияние геометрии на термоупругие рассеивания в микромеханических резонансных лучах

Термоупругие рассеивания (ТР) проанализированы для комплексных геометрий микромеханических резонаторов,показывающих влияние дизайна резонатора (слоты, обрабатываемые в гибких лучах) на ТР-ограниченный фактор качества. Кларенс Зенер первый описал ТР для простых лучей в 1937. Эта работы выходит за рамки простых лучей вслучайных геометриях, проверяя моделирование, которое полностью захватывает физику. Новые геометрии слотов расположены в определенных местах в последствии изгиба резонатора пучков. Эти слоты существенноповлияли на тепло-механические связи и оказывают влияние на коэффициент качества, обеспечивающий резонаторы с высшим коэффициентом качества, чем предсказывается простой теорией Зенера. Идеальноерасположение для максимальной отдачи от слотов определяется в регионах высокого напряжения. Мы продемонстрировали способность предсказывать и контролировать качественный фактор микромеханических резонаторовограниченных термоупругим рассеиванием. Это дает возможность настройки коэффициента качества путем структурирования дизайна без необходимости масштабировать его размер, что позволяет получить улучшенныйоптимальный дизайн.

Введение
Кремниевые микромеханические резонаторы находятся на стадии рассмотрения для опорной частоты приложений, потому что их потенциал, как высокие частоты, высокая добротность, Q, резонаторов вочень малом объеме. Фундаментальное поведение этих кремниевых резонаторов должно быть хорошо изучено для того, чтобы сделать кремниевые резонаторы жизнеспособными для замены существующих технологийопорной частоты. Вопрос важен, поскольку он влияет на параметры, которые имеют решающее значение в приложениях опорной частоты (например, двигательные, резистивные, фазовый шум). Фактор качества в данномслучае является мерой количества механической энергии резонатора, которая рассеивается. Таким образом резонатор может рассеивать энергию, включающую воздушное...
tracking img